手機顯示屏使用plasma清洗去除微觀污染物:
       近年來，世界著名手機以玻璃為顯示屏。為了能夠加強玻璃顯示屏的強度和硬度，通常用于化學鋼化，化學鋼化前需要清洗。如果清洗不好，會影響增強效果。傳統(tǒng)的清洗方法是先用洗滌劑刷洗，再用酸、堿、有機溶劑超聲波清洗。工藝繁瑣，耗時費力，引起污染。含有低溫plasma空間的離子、電子、激發(fā)原子、分子和自由基均為活性粒子，易與材料表面發(fā)生反應，廣泛應用于滅菌表面改性膜沉積蝕刻加工設備的清洗。

      潤滑油和硬脂酸是手機玻璃表面板中最常見的污染物。污染后，玻璃表面與水的接觸角增加，影響離子交換。傳統(tǒng)的清洗方法工藝繁瑣且有污染。手機顯示屏plasma清洗機,結構簡單,不需要抽真空,室溫下即可進行清洗,所產(chǎn)生的激發(fā)態(tài)的氧原子比一般氧原子更具有活性,可將污染的潤滑油和硬脂酸中的碳氫化合物進行氧化,產(chǎn)生CO2和H2O。等離子體射流同時還具有機械沖擊力,起到了刷洗功效,使玻璃表面污染物迅速脫離玻璃表面,達到高效清洗的目的。
        plasma清洗機對玻璃表面的清洗,除去機械功效外，更主要是活性氧的氧化作用,plasma中激發(fā)態(tài)的Ar,使氧分子激發(fā)為激發(fā)態(tài)氧原子高能量電子撞擊氧分子使其分解,形成激發(fā)態(tài)氧原子沾污的潤滑油與硬脂酸主要成分為碳氫化合物,這類碳氫化合物為活性氧所氧化,產(chǎn)生CO2和水進而將油污從玻璃表面上除去。
        化學鋼化前玻璃手機顯示屏的清洗流程比較復雜。非均衡Ar/氧氣大氣壓等離子Ar/氧氣大氣壓等離子射流作為清洗流程很簡單。玻璃顯示屏上沾有潤滑油和硬脂酸的接觸角用接觸角儀測量。在plasma射流清洗一段時間后，水的接觸角明顯降低。掃描電鏡的觀測也證實了清洗的功效。