1.真空電磁閥
　　真空等離子清洗機(jī)在工作時(shí)需維持工藝要求的真空度及真空腔體的密封，因此其連接腔體的各氣路閥門必須滿足真空密封要求，一般選擇相匹配的帶氣路控制的真空電磁閥。真空等離子清洗機(jī)為保證運(yùn)行穩(wěn)定性，因此都是一個(gè)真空電磁閥控制一路氣體，所選用的真空電磁閥都是兩位兩通式的。
　　2.氣動球閥

　　真空等離子清洗機(jī)的進(jìn)氣量是由流量計(jì)所控制的，它的工作原理是通過調(diào)節(jié)通入氣體閥門的大小來實(shí)現(xiàn)通流量的控制，等離子清洗機(jī)使用的流量計(jì)分為氣體浮子流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器(MFC)兩種。氣動球閥具有高真空密封、耐腐蝕、口徑大等特點(diǎn)，所以當(dāng)真空等離子清洗需通入特殊單體時(shí)會被應(yīng)用于氣路控制中。根據(jù)實(shí)際使用需求選用兩通式或三通式。

      氣體浮子流量計(jì)是通過手動調(diào)整開啟閥門的大小來實(shí)現(xiàn)氣體流量控制，閥門開啟后會受氣體壓力變化、震動等多因素影響而造成實(shí)際通入氣體流量浮動范圍大，不適用于對工藝氣體流量要求嚴(yán)格的等離子清洗機(jī)。
　　質(zhì)量控制器一般都是自動對工藝氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制，保證等真空離子清洗機(jī)處理工藝的穩(wěn)定;對于部分腐蝕性氣體或其他特殊氣體也可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的控制。
　　3.止逆閥
　　止逆閥又稱止回閥，在氣路控制中主要是防止氣體回流，起到保護(hù)氣路控制部分其他器件和防止相互反應(yīng)氣體匯合的作用。使用時(shí)需注意其標(biāo)注的氣流方向。真空等離子清洗機(jī)通入的氣體通常都是潔凈度相對較高的工藝氣體，因此氣體調(diào)壓及處理組件基本結(jié)構(gòu)多為調(diào)壓閥和過濾器組成。它的主要作用是將氣壓控制在所需要的壓力范圍內(nèi)及過濾氣體中可能含有的雜質(zhì)，以此來保障后端流量計(jì)等組件的運(yùn)行穩(wěn)定性和氣體潔凈度。目前真空等離子清洗機(jī)的常用的氣體調(diào)壓及處理組件按結(jié)構(gòu)特點(diǎn)可以分為組合式和一體式兩種形式。